Ders AdıKodu Yerel KrediAKTS Ders (saat/hafta)Uygulama (saat/hafta)Laboratuar (saat/hafta)
Yarıiletken TeknolojisiEHM610737.5300
ÖnkoşullarYok
YarıyılBahar
Dersin DiliTürkçe
Dersin SeviyesiYüksek Lisans
Dersin TürüSeçmeli @ Elektr.&Hab. Müh. ABD Elektronik Yüksek Lisans Programı
Seçmeli @ Elektr.&Hab. Müh. ABD Elektronik Doktora Programı
Ders Kategorisi
Dersin Veriliş Şekli
Dersi Sunan Akademik BirimElektronik & Haberleşme Mühendisliği Bölümü
Dersin Koordinatörü
Dersi Veren(ler)Herman Sedef
Asistan(lar)ı
Dersin AmacıDersin amacı yarıiletken teknolojisindeki temel süreçleri öğretmektir.
Dersin İçeriğiYarı iletkenlerin sınıflandırılması / Element ve bileşik yarı iletkenlerin kristal yapıları / Miller indisleri / Si ve GaAs kristallerinin üretimi, kristallerin arındırılması ve monokristal üretimi / Silisyum ve GaAs kristallerinde sıvı ve gaz fazdan epitaksiyal büyütme; difüzyon, iyon ekme, oksidasyon süreçleri / Bipolar ve Mos teknolojisinde temel süreçler;
Ders Kitabı / Malzemesi / Önerilen Kaynaklar
  • Silicon Processing for the VLSI Era, Volume1: Process Technology, Stanley Wolf, Richard Tauber, Lattice Press
Opsiyonel Program BileşenleriYok

Ders Öğrenim Çıktıları

  1. Öğrencilerin yarıiletken devre elemanlarının üretimi konusunda bilgilendirilmesi
  2. Öğrenciler CMOS ve bipolar temelli modern devre teknolojisinin öğreneceklerdir.
  3. Öğrencilerin yarıiletken devre elemanlarının kullanım alanları konusunda bilgilendirilmesi
  4. Öğrencilerin mikro ve nano sistem teknolojileri ile ilgili gelişmiş bilgiye sahip olmalarını sağlamak
  5. Öğrencilerin micro/nano fabrikasyon konusunda bilgi sahibi olmalarını sağlamak

Haftalık Konular ve İlgili Ön Hazırlık Çalışmaları

HaftaKonularÖn Hazırlık
1Yarı iletkenlerin sınıflandırılması Ders Kitabı
2Element ve bileşik yarı iletkenlerin kristal yapıları, miller indisleriDers Kitabı
3 Si ve GaAs kristallerinin üretimi, kristallerin arındırılması ve monokristal üretimi Ders Kitabı
4Silisyum ve GaAs kristallerinde sıvı ve gaz fazdan epitaksiyal büyütmeDers Kitabı
5difüzyonDers Kitabı
6iyon ekmeDers Kitabı
7oksidasyon süreçleri Ders Kitabı
8Ara sınav
9LitografiDers Kitabı
10Bipolar ve Mos teknolojisinde temel süreçlerDers Kitabı
11Polisilisyum tabakalar ve uygulama alanlarıDers Kitabı
12Silisyumnitrit tabakaları ve uygulama alanlarıDers Kitabı
13Silisit tabakaların oluşturulması ve uygulama alanları Ders Kitabı
14MetalizasyonDers Kitabı
15 Devre elemanı üretim teknikleri için örnek süreçlerDers Kitabı
16Final Sınavı

Değerlendirme Sistemi

EtkinliklerSayıKatkı Payı
Devam/Katılım
Laboratuar
Uygulama
Arazi Çalışması
Derse Özgü Staj
Küçük Sınavlar/Stüdyo Kritiği
Ödev130
Sunum/Jüri
Projeler
Seminer/Workshop
Ara Sınavlar130
Final140
Dönem İçi Çalışmaların Başarı Notuna Katkısı
Final Sınavının Başarı Notuna Katkısı
TOPLAM100

AKTS İşyükü Tablosu

EtkinliklerSayıSüresi (Saat)Toplam İşyükü
Ders Saati153
Laboratuar
Uygulama
Arazi Çalışması
Sınıf Dışı Ders Çalışması145
Derse Özgü Staj
Ödev130
Küçük Sınavlar/Stüdyo Kritiği
Projeler
Sunum / Seminer145
Ara Sınavlar (Sınav Süresi + Sınav Hazırlık Süresi)12
Final (Sınav Süresi + Sınav Hazırlık Süresi)12
Toplam İşyükü :
Toplam İşyükü / 30(s) :
AKTS Kredisi :
Diğer NotlarYok